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东莞盛雄激光切割晶圆设备及代加工工厂

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1)适合产品最大尺寸:8英寸。
(2)适合产品最深厚度:1mm以内。
(3)适合产品精度:激光最小线宽直径15um±1um。
(4)采用高性能200KHz时最高功率30W,532nm皮秒绿光激光器,激光光束质量M2<1.3,高峰值功率、超窄脉宽、高重复频率和高脉冲稳定度,聚焦光斑小,切口窄,加工速度快,几乎没有热影响区,创造了卓越的加工质量;
(5)皮秒激光微加工系统采用高刚性结构设计、减震机床脚杯和天然大理石组成的机床基座,既能消除高速直线电机运动平台启动/停止和加速过程中产生的惯性震动,也可有效防止因气候变化温差引起的床身应力变形;
(6)采用高精密二维直线电机平台和全闭环光栅检测控制系统,保证机床的定位和重复精度;
(7)配备精密切割头,适合边缘效果要求极高的高速划线应用;
(8)配备高像素CCD相机,具有图像自动识别、高精度图像定位动能;并可抓银浆丝印的Mark标,也可以抓ITOMark标,(靶标:圆形十字方框?十字加实心圆?影像)可使用两点、四点定位,抓标后记忆功能,大大节约抓拍靶标时间。
(9)配备8寸晶圆专用送料和收料机构(产品需贴在晶圆专用钢环上使用,如白、蓝玻璃,LED蓝宝石衬底等),整个产品加工过程中全自动送料下料,如果出现异常会自动报警,无需人工干预手动上下料,大大提高工作效率!
?(10)配备粉尘抽风和集尘系统回收激光加工过程中产生的去除粉尘,使机器光学部件和光学传输系统和生产车间不受污染。(采用激光内聚焦切割无粉尘)
(11)配备工业专用控制电脑和盛雄激光自主研发的皮秒激光微加工系统专用控制软件,软件支持DXFDWG格式文件导入图形,全过程电脑软件自动控制,能实现送料机构产品自动送料,CCD自动抓取靶标自动定位,扫描振镜然后自动加工,加工过程中产生的粉尘集尘系统自动抽走的全制程软件自动控制操作简易,整机性能稳定,可长期24小时不间断运行.

答案创立者

ygbd1629
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